作为行业领先的传感器解决方案供应商，ifm易福门凭借创新技术与智能化应用，为半导体制造的各个环节提供了卓越的解决方案，助力企业优化生产流程、降低运营成本。
特别是在Sub-fab（工厂辅助设施）流程中，自动化技术的应用正逐渐成为提升效率与可持续发展的关键。今天，让我们深入探讨ifm如何通过创新解决方案，助力这一领域实现降本增效。
化学品输送系统（CDS）的智能化升级
化学品在半导体生产的多个阶段发挥着重要作用，包括沉积、光刻胶涂覆、光刻、蚀刻、清洗、薄膜沉积和抛光等。为确保化学品的纯度，非接触式液位测量技术被广泛应用。ifm的电容式测量技术通过简单的空罐调整和显示指南，有效克服了管道或储罐壁上气泡或附着物带来的挑战。
KQ10系列连续性监控液位传感器：该系列传感器可安装在非金属储罐外壁，实现料位监测。其配备的清晰可见的LED百分比显示，使用户能够轻松掌握液位变化。此外，它还提供三个点料位监测位置，可靠区分空载、满载和溢流状态。
KI60系列电容式接近开关：该系列开关可在介质内或介质外运行，透过非金属储罐壁进行检测，有效抑制沉积物的影响。结合IO-Link技术，将点液位检测系统升级为实时液位状态监测，为企业提供更精准的化学品管理。
设备健康管理：通过预测性维护提升设备可用性
在半导体制造过程中，真空系统是维持无菌环境的关键支持系统，干式真空泵的稳定运行至关重要。ifm通过振动监测、流量监测和温度监测，为设备健康管理提供了全方位的解决方案：
基于振动监测的预测性维护
ifm振动传感器（VSA）和振动分析模块（VSE）可实时监测泵的健康状况，防止增压泵和干泵发生灾难性故障。通过监测冲击、疲劳、摩擦、严重程度和温度等五个方面的机器问题，以及滚动轴承等特定部件，传感器能够提前检测到即将发生的故障，减少计划外停机时间，实现能源优化。
通过持续监测流量确保适当的冷却效果
冷却水用于散发泵内压缩过程中产生的热量。ifm的SU超声波流量计采用无机械部件的设计，提供高精度测量，最大限度地减少压降，确保冷却工艺的高效运行。
通过连续测量温度保持泵的功能
泵的外壳温度升高通常表明摩擦增加，可能导致泵故障。ifm的TP + TS分体式测温方案可对泵体表面温度进行实时监测，避免因温度异常导致的停机时间。
通过IO-Link技术，所有传感器采集的数据可实时发送到更高层级的软件系统，实现趋势预测和分析，为企业提供实时的设备健康监测。
超纯水系统的智能化管理
超纯水是半导体生产中的关键资源，因为即使是微小的杂质也会导致重大的生产损失，导致数百小时的半导体晶圆生产无效。ifm为超纯水系统的各个环节提供了智能化监测解决方案：
通过电导率测量确保水质
ifm的LDL电导率传感器是一种高性价比的解决方案，能够实时监测水中低至0.04μS/cm的电导率，确保供水系统的稳定和高效运行，指导净化工艺的调整。
超纯水出水管 | 产出流量监测
SU Puresonic超声波流量传感器采用超声波技术，可精确测量高达1000L/min的超纯水流量，并集成温度测量功能，提供高度准确的在线测量过程，确保工艺的一致性和产品质量。
通过高准确度液位测量改善水的分配
ifm的LW非接触式雷达液位传感器采用80 GHz测量技术，可对高达10米的储罐进行高精度测量（±2 mm），确保资源的可用性、防止干转并优化水的利用率，避免因液位监测不准确导致的系统故障。
此外，ifm传感器产品在晶圆加工、CMP工艺以及内物流都有广泛应用。
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