MEMS的最大优势是可以利用微电子技术将传感器、执行器和处理电路集成在一起构成单片集成传感器或系统，更可以实现传感器芯片的大规模批量制造，已广泛用于信息、汽车、消费、工控等领域，并成为国际竞争的战略制高点。

　　今年以来，我国包括代工业务在内的芯片产业面临着前所未有的市场挑战，同时也迎来了更大的发展机遇，传感器作为信息感知的基础芯片也是如此。面对可能存在的供应链风险，国内企业开始着手构建稳定的国内供应链，改变传感器受制于人的被动局面。

　　我们一定要抓住国产传感器需求迫切的机遇，采取必要的措施，大力推进我国MEMS传感器的产业化发展，提升传感器芯片的自主创新能力。

　　MEMS传感器具有个性化、分散化特点

　　集成电路发展迅速的原因是标准化，晶体管是其核心，制造围绕标准单元晶体管进行，产品是即插即用的标准集成电路，技术发展可通过摩尔定律清晰预测。令人遗憾的是，MEMS传感器的特点是个性化的：一是没有像晶体管那样功能强大的标准单元，制造呈现个性化；二是没有像CPU和存储器市场那么大的标准产品，产品呈现个性化。因此，其发展速度远低于业界的预测。

　　尽管MEMS传感器个性化特点影响了其发展速度，但却有利于我国实现跨越发展。主要体现在两方面：一是制造个性化还没有形成通用制造流程，技术更新换代缓慢，对工艺设备要求远低于集成电路的要求，有利于我国实现制造突破；二是产品个性化带来的是细分市场，产品形态与客户高度关联，单一公司难以垄断，有利于我国发挥本土优势实现应用突破。

　　设立以产业化为导向的MEMS传感器专项

　　我国还没有为传感器专门制订过科技计划，尽管在许多国家科技计划中包含传感器的内容，但基本都属于从属地位，没有得到足够的重视，发展速度远不尽如人意，使得国内市场一直被国外产品垄断。另一方面，国产传感器的落后也使得国内用户大多不选用国货，进一步拉大了国产传感器与国外产品差距，造成了产品越没人用越不行的恶性循环。目前的国际芯片供应链形势，给许多国内传感器用户带来了空前的危机感，有了构建国内稳定供应链的迫切需求。

　　因此，应该抢抓机遇，针对MEMS传感器的特点，尽快设立以产业化为导向的MEMS传感器专项，全力构建MEMS传感器制造体系，扶植有特色的MEMS传感器企业做大做强，提升国产传感器的市场占有率，提升传感器芯片自主能力，改变严重受制于人的局面。

　　MEMS传感器制造从本质上讲是基于微电子技术，但与集成电路又有很大不同，因此，不能直接将常规集成电路产线用来制造传感器芯片。集成电路芯片制造的核心是晶体管，制造工艺为平面工艺，关注的主要是电性能。

　　MEMS传感器芯片制造的核心是微机械结构，需要进行三维微机械结构加工，除了要关注电性能外，更要关注机械和力学等性能。而且，微机械结构呈现个性化，还没有一种像晶体管那样功能强大的标准微机械结构。不过微机械结构的尺寸一般都在微米量级，对工艺设备的要求远低于集成电路，通常的集成电路产线经过二次工艺开发，都能满足MEMS传感器的制造需求。

　　因此，可通过MEMS传感器专项支持，选择合适的集成电路产线，进行二次工艺开发，打造出适应MEMS传感器个性化制造需求的量产线。

　　由于MEMS传感器芯片需求量远小于集成电路芯片，而且转产MEMS传感器芯片投入大，为提高集成电路芯片厂转产MEMS传感器芯片的积极性，应对MEMS传感器芯片量产线给予资金支持和税收优惠。同时，选择合适科研机构，建立MEMS传感器芯片研发平台，用于MEMS传感器前期开发样品研制，建立MEMS传感器中试平台，用于MEMS传感器产品开发量产工艺验证，全力构建出我国MEMS传感器制造体系。

　　发挥本土优势 做大做强企业

　　MEMS传感器呈现出小批量多品种的个性化特色，不同的传感器产品形态有明显的不同，即使是同一种传感器，使用场合不同其产品形态也有明显的不同。例如，仅汽车压力传感器就有进气压力传感器、机油压力传感器、刹车压力传感器、变速箱压力传感器、燃油箱蒸汽压力传感器、高压共轨压力传感器等，其产品形态与应用场合密切相关，是典型的用户关联产品。

　　用户关联产品的市场营销需要与用户密切互动，这可充分发挥本土企业与用户沟通便利、进行定制半定制保姆式服务等优势，使本土企业在与国外公司竞争中处于有利地位。

　　因此，MEMS传感器专项可选择一些用户关联度高、市场规模大和存在供应链风险的产品，如汽车传感器、仪器仪表传感器和量大面广的消费传感器等，扶植有优势的MEMS传感器企业进行产品研发，在MEMS传感器量产线实现量产，提高国产传感器的市场占有率，做大做强本土MEMS传感器企业。

　　完善我国MEMS传感器产业链

　　MEMS传感器的产业链包括用户、产品公司和制造体系。由于MEMS传感器的个性化特点，其产品开发必须与用户密切结合，用户是其产业链中的一个重要环节；产品公司根据用户需求，进行MEMS传感器产品开发；由于MEMS传感器的制造涉及芯片加工，工艺线投入大，一般产品公司可通过共享来完成。这三个环节密切联系在一起，产品公司可实现MEMS传感器的大规模销售。

　　因此，通过MEMS传感器专项的实施，可将我国MEMS传感器的大用户、有优势的MEMS传感器产品公司和研发量产线组织在一起，针对大用户的产品需求，进行相应的产品研发和应用验证，并在集成电路产线进行二次工艺开发，实现传感器大规模量产，打造出我国MEMS传感器产业链，提升国产传感器的市场占有率，解决传感器芯片受制于人的问题。

　　MEMS传感器的产业化离不开集成电路企业的参与，2010年我国有集成电路企业开始参与MEMS制造。产业链上下游开展产学研用合作，进行了打造MEMS传感器产业链的初步尝试，建立了用户、产品公司和量产线的有机联系，取得了好的效果。