Innovative Sensor Technology IST AG的产品家族又壮大了。SFS流量模块是一个即用型线性质量流量模块，用于连续的气体流量检测。

　　SFS流量模块主要用于气体供应、气体计量系统、分析仪和汇流排，但也适用于过程控制，例如在改变大气环境的条件下测低流速。这使得该流量模块非常适合于集成到医疗设备中。在环境技术方面，SFS模块可用于气体分析和连续排放监测。

　　由于其双向量热测量，SFS流量模块提供快速、连续的气体流量监测，响应时间≤20 ms。它在工厂进行了线性化处理，重复性为0.2 %，精度高达2 % f.s.，有三个版本可用于不同的流速+/-50 sccm、+/-200 sccm和+/-1000 sccm。该流量模块有一个模拟和一个数字I2C输出，并配备了两个地址引脚。新的SFS流量模块的另一个优势是其紧凑的设计。它的安装空间只有50 x 40 x 20 mm，足够小，可以集成到一个测量单元中。