Canon-machinery FPA-5510iZ 步进式光刻机对应粗糙层(Rough Layer) 的高生产效率i-线曝光装置。
对应高生产效率的光学系统
已实现高生产效率的高照度照明系统的进一步改良
采用高亮度水银灯
采用已拥有业绩的FPA-5000系列工作台(platform)
采用可靠性高的FPA-5500系列工作台(platform) 确保装置稳定运行
实现了高精度对位性能
降低芯片因受曝光热产生变形的对策
平台空间气流控制的最佳化
投片率的进一步提高
采用已实现高生产效率的新型芯片台
联系人:黄文俊
地址:深圳市龙华新区人民南路莱蒙水榭春天7栋凤凰苑24C/24D
邮编:518131
电话:13928415151
传真:0755-83176509
公司网址:http://www.itestworld.com
扫描此二维码即可访问该空间手机版