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深圳市东测科技有限公司
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  • Canon-machinery FPA-6000ES6a 步进式光刻机  
  • 发布时间：2017/6/30 17:21:49   修改时间：2017/6/30 17:21:49 浏览次数：1283
  • Canon-machinery FPA-6000ES6a 步进式光刻机

  • Canon-machinery FPA-6000ES6a 步进式光刻机



    实现90nm以下分辨力的高性能KrF曝光装置(FPA-6000ES6a)

    FPA-6000ES6a的设计理念

    追求高分辨力

    装有数值孔径NA0.86的透镜

    采用高效率的照明系统，用高强度RET照明提高生产效率

    强化像差校正机构

    采用已经拥有业绩的FPA－6000系列工作台(platform)确保设备稳定运行

    实现了高精度对位

    进给芯片的温度稳定化对策

    装置内空间气流控制的最佳化

    对应高数值孔径(High NA)的调焦系统

    即使在高数值孔径(Hign NA)条件下，仍可确保充分的调焦宽容度

    采用新的校准机构


  • 企业介绍
深圳市东测科技有限公司公司现货销售、租赁惠普（安捷伦）、泰克、安立、爱得万、横河、安腾、力科、马可尼（IFR）、R&S、Exfo等品牌之眼图仪、光谱分析仪、光时域反射仪(OTDR)、可调激光源、光功率计、光衰减器、光纤熔接机等光纤通信仪…  更多>>
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深圳市东测科技有限公司

联系人：黄文俊

地址：深圳市龙华新区人民南路莱蒙水榭春天7栋凤凰苑24C/24D

邮编：518131

电话：13928415151

传真：0755-83176509

公司网址：http://www.itestworld.com

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  • 韩女士 在2022/11/24 10:01:00留言
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  • 详细留言：KLA Thermawave OP2600，KLA Tencor 5200XP，KLA 6420，KLA 2315。想了解报价和产品规格说明书。
  • 张鸿益 在2022/4/29 14:07:00留言
  • 留言类型：得到贵公司产品详细资料,得到贵公司产品的价格信息,贵公司产品销售人员联系我,
  • 详细留言：請與我聯繫。謝謝
  • 汪丽 在2021/12/13 10:48:00留言
  • 留言类型：我想得到贵公司产品详细资料,我想得到贵公司产品的价格信息,我让贵公司产品销售人员联系我,
  • 详细留言：需求CI-T120 管脚检查机
  • 汪丽 在2021/12/13 10:48:00留言
  • 留言类型：我想得到贵公司产品详细资料,我想得到贵公司产品的价格信息,我让贵公司产品销售人员联系我,
  • 详细留言：需求CI-T120 管脚检查机
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