中华人民共和国发明专利 ZL 94 1 12117.8
中华人民共和国实用新型专利 ZL 94 1 12117.8
国家技术监督局鉴定证书 (94)技监鉴字108号
中国科学院企业标准 Q/KYA05-002-94
上海市优秀发明一等奖暨专利产品推广实施金奖
当一束激励X射线照射到样品上,镀层和基底中的元素都放射出特征荧光X射线(XRF)。镀层荧光X射线的强度随镀层厚度而增加;基底荧光X射线的强度随镀层厚度而降低。根据这类关系,测定荧光X射线的强度,便可以计算出镀层的厚度。普通XRF仪器的照射区域比较大,不适用于精微细小、形状复杂的样品。微区XRF仪器将微束X射线集中照射在很小的区域内(专利ZL 94 1 12117.8),采用激光定位技术(专利ZL 97 2 35392.5),能方便地选择样品上任意部位进行精确测量。
· 应用领域 ·
· 接插件插座,插头,插销,开关,继电器,端子
· 连结器复式连结器,电路板连结器,电缆连结器
· 印刷电路 胶合板,印刷电路板,金属化孔
· 半导体晶体管,混合电路,集成电路,陶瓷插座
· 存储器磁带,磁盘,磁鼓,磁头
· 装饰件钟表,眼镜,制笔,珠宝首饰,工艺品
· 机械另件 精密另件,钟表另件,电子元件,计算机
· 仪器特点 ·
* 非破坏性,无须接触,准确度高,测量面积小
* 可测量单镀层,双镀层,合金镀层,合金成份
* 适合于任何形状复杂,精致细小和复合型样品
* 样品沿三方向移动,激光定位精确选择测量点
* 镀层和基底的原子序数相差大于1即可测量
* 内置滤光片用于镀层和基底是相邻元素的情况
* 荧光屏和打字机同时印出当前几次测的厚度值
科学院上海应用物理研究所凝聚其30多年从事X射线荧光(XRF)技术研究的经验,结合其近年来在微区分析领域取得的国际领先地位,研制成功XRF系列微区镀层测厚仪,深受用户好评。这项研究成果的目标是在镀层质量检验中,用我国高新科学技术,取代昂贵的进口仪器。该项产品已通过国家技术监督局鉴定,性能指标达中国到进口仪器的水平,它的价格只有进口仪器的几分之一,是一种比较先进而实用的质量检验仪器,适合于电子元件,精密机械,钟表眼镜,制笔工艺,珠宝首饰等行业推广使用。