由瑞士Sensiron公司推出的气体质量流量控制器和流量计,能够快速精确的控制/测量小流量的气体流量。其卓越的性能源于所采用的CMOSens专利技术,基于热式原理,将高精度传感器和放大器,A/D转换电路集成在一个CMOSens?芯片上,所有的测量数据都通过内部的微控制器进行了完全的标定和温度补偿,使其性价比更高,使用更方便,更具有高精度和超快响应速度。
规格:
-高精度:设定点的0.8%(10%~100%满量程)
-超快响应:<100ms
-量程范围:0~0.05/0.5/2/5/20 ln/min
-数字化标定&温度补偿
-标准接口(0~5V)
-标准供电电压:24V
-标准的机械接口:G1/4”
-提供NIST-traceable标定证书
应用领域:
-分析仪器 -干刻(RIE/DRIE)
-生物技术 -气相色谱分析
-激光焊机 -过程自动化
-真空镀膜 -燃料电池