HITACHI S-4500 扫描电子显微镜
LAM TCP 9600SE 等离子灰化机
LAM 2300 多晶硅蚀刻机
Tel REL-4800 晶圆探针台
Accretech/TSK APM 90A 晶圆检测仪
kla-tencor SFS6420 晶圆检测系统
HITACHI S-9220 扫描电子显微镜
Tel ACT-8 涂布机
NIKON NSR 4425i 步进式光刻机
Canon-machinery FPA-6000ES6a 步进式光刻机
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